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[ZZ]SILICIDE、SALICIDE和POLYCIDE

上一篇 / 下一篇  2018-01-29 23:54:54 / 个人分类:Devices

首先,这三个名词对应的应用应该是一样的,都是利用硅化物来降低POLY上的连接电阻。
$jqP J cL8~c)@6H0但生成的工艺是不一样的,具体怎么用单独的中文区分,现在我也还没看到相应资料, ET创芯网(EETOP)-电子设计澳门皇冠APP、博客、超人气的电子澳门皇冠APP资料分享平台1XB&DI?1Mh
就暂且沿用英文的了。ET创芯网(EETOP)-电子设计澳门皇冠APP、博客、超人气的电子澳门皇冠APP资料分享平台V aa*A?"SJ/]8^
其中,SILICIDE就是金属硅化物,是由金属和硅经过物理-化学反应形成的一种化合态,其导电特性介于金属和硅之间,而POLYCIDE和SALICIDE则是分别指对着不同的形成SILICIDE的工艺流程,下面对这两个流程的区别简述如下:
,{HSVg9K#N(V0POLYCIDE: 其一般制造过程是,栅氧化层完成以后,继续在其上面生长多晶硅(POLY-SI),然后在POLY上继续生长金属硅化物(silicide),其一般为 WSi2 (硅化钨)和 TiSi2 (硅化钛)薄膜,然后再进行栅极刻蚀和有源区注入等其他工序,完成整个芯片制造。
6mIpej9Zdh/d&NGU0ET创芯网(EETOP)-电子设计澳门皇冠APP、博客、超人气的电子澳门皇冠APP资料分享平台q?BqN9[n
SALICIDE: 它的生成比较复杂,先是完成栅刻蚀及源漏注入以后,以溅射的方式在POLY上淀积一层金属层(一般为 Ti,Co或Ni),然后进行第一次快速升温煺火处理(RTA),使多晶硅表面和淀积的金属发生反应,形成金属硅化物。根据煺火温度设定,使得其他绝缘层(Nitride 或 Oxide)上的淀积金属不能跟绝缘层反应产生不希望的硅化物,因此是一种自对准的过程。然后再用一中选择性强的湿法刻蚀(NH4OH/H2O2/H20或H2SO4/H2O2的混合液)清除不需要的金属淀积层,留下栅极及其他需要做硅化物的salicide。另外,还可以经过多次煺火形成更低阻值的硅化物连接。跟POLYCIDE不同的是,SALICIDE可以同时形成有源区S/D接触的硅化物,降低其接触孔的欧姆电阻,在深亚微米器件中,减少由于尺寸降低带来的相对接触电阻的提升。另外,在制作高值POLY电阻的时候,必须专门有一层来避免在POLY上形成SALICIDE ,否则电阻值就上不了哈。
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!O;{~ p'E0对于金属硅化物以及目前又开始热门的金属栅极的制作,特性分析,工艺流程,有很多文献可以参考,但作为LAYOUT设计者而言,不需要了解这么多,就是明白这个东西的作用是什么应该就足够了。
u7M2e.U+p+}+X?J0ET创芯网(EETOP)-电子设计澳门皇冠APP、博客、超人气的电子澳门皇冠APP资料分享平台fw#yTcR
Salicide / Polycide 使用条件?
}kdRd }[0Salicide 可以减小栅极和源漏电阻ET创芯网(EETOP)-电子设计澳门皇冠APP、博客、超人气的电子澳门皇冠APP资料分享平台&O+k3He VaN
Polycide 可以减小栅极电阻ET创芯网(EETOP)-电子设计澳门皇冠APP、博客、超人气的电子澳门皇冠APP资料分享平台7H)V2cPVk A)y
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什么时候选择哪一种呢?两者使用前提条件是什么呢?有什么使用限制呢?ET创芯网(EETOP)-电子设计澳门皇冠APP、博客、超人气的电子澳门皇冠APP资料分享平台 tD_Ft0M/P

^ s^ J+p5HB9B0一、看你Care的是什么?ET创芯网(EETOP)-电子设计澳门皇冠APP、博客、超人气的电子澳门皇冠APP资料分享平台~*GSC!r1D0S
Salicide自对准效果很好,且Rs也很小。但是Thermal Stable不好。而且会有C49和C54的相位转换,电阻差异很大哦。所以这个一般需要Wet Etch前后各一步Thermal来。如果一步到位对小线宽的Gate控制不好。因为反应过程中是Si扩散到界面与Ti反应。这样就会有一定量的横向反 应。ET创芯网(EETOP)-电子设计澳门皇冠APP、博客、超人气的电子澳门皇冠APP资料分享平台Uc8H^vy#oj
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Polycide的Rs会比较大一些,但是Thermal下比较稳定。以上在0.35-0.6甚至0.8um都有在用。0.25及其以下用CoSi2,对线宽控制比较好,因为Co与Si反应的时候,是Co进入界面与Si反应,这样横向反应就比SiTi2的小,因为Poly 的边界决定了线宽不会延伸。nm时代就要用NiSix了,Thermal稳定性很差,但是因为它不能用前面的原因是他更Care工艺过程中的Thermal Burdget,所以不得不用它了
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二、
)M.eIV|n9m@01. SALICIDE产生BRIDGING现象ET创芯网(EETOP)-电子设计澳门皇冠APP、博客、超人气的电子澳门皇冠APP资料分享平台S q+P~ zIT7L
扩散速度较金属快的话,则容易跑到SPACER上,反应生成bridging。也就是硅化物的形成已经 在源漏和栅极上了,这样就会出现桥接,尤其在细线宽情况下。salicide如果使用TI/CO的话,这个情况比较严重。POLYCIDE是不会有这种情况的。ET创芯网(EETOP)-电子设计澳门皇冠APP、博客、超人气的电子澳门皇冠APP资料分享平台k0Y,U'J9_~)j
2. 一般的掺杂物在SALICIDE中的扩散速度极快,所以在多晶中的掺杂物很容易进入salicide而流串到其他地方,多晶硅也因掺杂物流失会有空乏现场 产生。对于CMOS的应用,则会有P型和N型掺杂物的相互污染导致VT的变化,严重影响电路运行。有时需要在进行SALICIDE之前,往多晶里面掺入N 什么的。减小这种效应。ET创芯网(EETOP)-电子设计澳门皇冠APP、博客、超人气的电子澳门皇冠APP资料分享平台\#c(o'el9xb
3. 由于SALICIDE的源漏电阻比采用POLYCIDE的小很多,所以相对来说,在打源漏接触孔时,SALICIDE会比POLYCIDE的少。源漏如果 打的孔多的话,也会影响布局密度。ET创芯网(EETOP)-电子设计澳门皇冠APP、博客、超人气的电子澳门皇冠APP资料分享平台C3BM C4Lc
4. 较注重元件关闭状态以及漏电流大小的电路产品,如DRAM,多采用POLYCIDE,因为SALICIDE过程容易造成S/D和衬底接触面的漏电流,严重 影响记忆元胞的资料保存能力。ET创芯网(EETOP)-电子设计澳门皇冠APP、博客、超人气的电子澳门皇冠APP资料分享平台D5[ aL'd"AY4b

GL"kh'?on,X0这是我获得的一些原因。另一些还没有弄明白原理。ET创芯网(EETOP)-电子设计澳门皇冠APP、博客、超人气的电子澳门皇冠APP资料分享平台K/nv&r$q1`

uPo/U KN.P/F3n0三、
:D,L`1Y-`0S0u;I7V01、Briding现象:就是我说的那个TiSi2和CoSi2对线宽的控制上。因为他们反应机理不同,一个是金属扩散到界面与硅反应,另一个是硅 扩散到界面与金属反应。这两种区别很大程度上决定了SPACER的上面有没有金属硅化物的生成的。
m G$j^;sc/v02、它的道理好像不对:Silicide对杂质有无Barrier的作用暂且不论,即使它没有Barrier功能,那POLY中的杂质(一般为P) 也是向上扩散的。而ILD一般是BPSG,类似于SiO2,吸B排P,这样P也很难被扩散到BPSG中,即使跑到ILD中,似乎也影响不到Vt。
"uqS$C}zx~0而为了防止Vt的变化,一般都是在长Gate Oxide的过程中掺入 N 的元素气体来阻止杂质透过Gate Oxide金属Channel区而影响Vt。
[R w_.D/H?5U g03、第三点有道理,因为CT Rs确实与CT CD成反比。但是开孔多一点还是有有帮助的,并不是说我CT Rs够了,我就只开一个孔就完了。不行的,这样很容易造成电流局部集中。电流集边效应的。ET创芯网(EETOP)-电子设计澳门皇冠APP、博客、超人气的电子澳门皇冠APP资料分享平台.^.Bx u9?`

z'S.C+^|F`-v+d0=============================
H3W$U9dcY0polycide:降低栅极电阻ET创芯网(EETOP)-电子设计澳门皇冠APP、博客、超人气的电子澳门皇冠APP资料分享平台LF3F"vU
silicide:降低源漏电阻ET创芯网(EETOP)-电子设计澳门皇冠APP、博客、超人气的电子澳门皇冠APP资料分享平台DmDi"R4@
salicide:既能降低栅极电阻,又能降低源漏电阻
"zI)E-qkgv:e0=============================
yzW8_$DY@0在互補式金氧半(CMOS)積體電路中,隨著量產製程的演進,元件的尺寸已縮減到深次微米(deep-submicron)階段,以增進積體電路(IC)的性能及運算速度,以及降低每顆晶片的製造成本。但隨著元件尺寸的縮減,卻出現一些可靠度的問題。ET创芯网(EETOP)-电子设计澳门皇冠APP、博客、超人气的电子澳门皇冠APP资料分享平台u$ssr$X'{(X$_Y|
ET创芯网(EETOP)-电子设计澳门皇冠APP、博客、超人气的电子澳门皇冠APP资料分享平台r z!hUU
  在次微米技術中,為了克服所謂熱載子(Hot-Carrier)問題而發展出LDD(Lightly-Doped Drain)製程與結構; 為了降低CMOS元件汲極(drain)與源極(source)的寄生電阻(sheet resistance) Rs 與 Rd,而發展出Silicide製程; 為了降低 CMOS元件閘級的寄生電阻 Rg,而發展出 Polycide 製程 ; 在更進步的製程中把 Silicide 與 Polycide 一起製造,而發展出所謂 Salicide 製程。
I,NwI0Ky%x(j!@2r0        在多晶矽上形成金屬矽化層(silicide)是降低閘極電阻的好方法,而且無論是 single poly 或dual poly 製程都可應用實施。一般的做法可分為 polycide 和 salicide 兩類。polycide的作法是在形成閘極氧化層後,連續成長 poly-Si和 silicide(一般為WSi2或TiSi2)薄膜,之後的閘極蝕刻、佈植等程序則和傳統電晶體作法類似。salicide的過程則較複雜,在形成閘極和源/汲極擴散區後,以濺射沉積(sputtering deposition)方式沉積一金屬層(一般為Ti,Co 或Ni),施以第一次快速升溫退火(1st RTA)處理,可使金屬和矽反應成金屬矽化物,而此步驟的溫度和時間參數經控制使得在絕緣層(nitride或oxide)上的金屬不會和絕緣層反應成 silicide,所以是一種自我校準的過程。之後再利用一選擇性濕式蝕刻(一般採用NH4OH/H2O2/H2O或H2SO4/H2O2的混合溶液)去除未反應成 silicide之金屬部份,留下形成在閘/源/汲極表面的 silicide。若有需要,再以一次2nd RTA的處理使 silicide的阻值進一步降低。和 polycide不同, salicide方式可同時在S/D形成 silicide,所以可明顯降低接觸電阻。這對於深次微米元件是很重要的,因為接觸電阻和接觸面成反比,所以當元件變小後相對地會增加接觸電阻而影響元件之驅動能力。
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+Qa[^ x2V{0from:https://www.douban.com/note/217597914/
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TAG: SALICIDE Salicide silicide SILICIDE Silicide Policide

 

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